特許
J-GLOBAL ID:201503005539281998
ライン走査イメージングにおけるリアルタイムフォーカシング
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤田 和子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-510265
公開番号(公開出願番号):特表2015-523587
出願日: 2013年03月13日
公開日(公表日): 2015年08月13日
要約:
イメージング・ラインセンサおよびフォーカシング・ラインセンサを用いてスライドのデジタル画像を捕えるシステムおよび方法。実施形態において、ビームスプリッタは、対物レンズに光学的に連結して、対物レンズを通してサンプルの一部の1つ以上の画像を受け取るように構成される。ビームスプリッタは、1つ以上の画像の第1の部分をフォーカシング・センサに、1つ以上の画像の第2の部分をイメージング・センサに、同時に提供する。1つ以上の画像の各部分がイメージング・センサによって受け取られる前にフォーカシング・センサによって受け取られるように、プロセッサは、ステージおよび/または対物レンズを制御する。このように、イメージング・センサを用いてサンプルの一部の画像を捕らえる前にフォーカシング・センサから受け取るデータを用いて、対物レンズの焦点は、制御されることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
スライドのデジタル画像を捕えるシステムであって、
単一の光軸を有する対物レンズ、
前記対物レンズを制御するモータ駆動ポジショナ、
サンプルを支持するように構成されるステージ、
少なくとも1つのイメージング・ラインセンサ、
少なくとも1つのフォーカシング・ラインセンサ、
前記対物レンズに光学的に連結して、前記対物レンズを通して前記サンプルの少なくとも一部の1つ以上の画像を受け取り、そして、前記1つ以上の画像の第1の部分を前記フォーカシング・ラインセンサに、かつ、前記1つ以上の画像の第2の部分を前記イメージング・ラインセンサに同時に提供するように構成される少なくとも1つのビームスプリッタ、および、
前記1つ以上の画像の各部分が前記少なくとも1つのイメージング・ラインセンサによって受け取られる前に前記少なくとも1つのフォーカシング・ラインセンサによって受け取られるように、前記ステージおよび前記対物レンズの1つ以上を制御する少なくとも1つのプロセッサ、
を含む、システム。
IPC (3件):
G02B 7/28
, G02B 21/00
, G02B 7/36
FI (3件):
G02B7/28 J
, G02B21/00
, G02B7/36
Fターム (16件):
2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AB29
, 2H052AC04
, 2H052AC05
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AD06
, 2H052AD16
, 2H151AA00
, 2H151BA44
, 2H151BA47
, 2H151BA54
, 2H151CB09
, 2H151CB14
, 2H151CB20
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-160415
出願人:株式会社日立ハイテクノロジーズ
審査官引用 (1件)
-
外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-160415
出願人:株式会社日立ハイテクノロジーズ
前のページに戻る