特許
J-GLOBAL ID：200903079616714032

外観検査装置

発明者：
鈴木 克弥

鈴木 克弥 について

, 
添田 英樹

添田 英樹 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-160415
公開番号（公開出願番号）：特開2007-327891
出願日： 2006年06月09日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】従来の検出画像比較による外観検査方法において、検出画像と参照画像の差から欠陥位置を特定する方法では、不安定なオートフォーカスは虚報や欠陥見逃しにつながる大きな問題であった。例えば、折返し直後のチップを比較検査する場合、検出画像と参照画像の走査方向の違いにより画像の差を生じ、画像比較による正確な欠陥判定を行えないことが問題であった。【解決手段】これを改善するために、帯状画像撮像領域の走査方向前方にオートフォーカス領域を配置し、オートフォーカス領域の画像のコントラスト値から焦点位置を計算し、ステージ高さを制御する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
被検査対象物の画像を検出する画像検出手段と、 前記画像検出手段が検出する、前記被検査対象物の検出領域を移動させる検出領域移動手段と、 前記被検査対象物の検出領域とは異なる領域に焦点位置を検出するための焦点位置検出領域を有する焦点位置検出手段と、 を備えた外観検査装置であって、 前記焦点位置検出手段の焦点位置検出領域を、前記検出領域移動手段による前記被検査対象物の検出領域の移動方向前方となるように制御する焦点位置検出位置制御手段を備えたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01N21/956 B ,  G01B11/30 A
Fターム (27件)：
2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA65 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051DA09 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-282144   出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (4件)
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