特許
J-GLOBAL ID：201503006349891191

膜付部材及びその製造方法

発明者：
山崎 雄亮

山崎 雄亮 について

, 
今村 努

今村 努 について

, 
金井 敏正

金井 敏正 について


出願人/特許権者：
日本電気硝子株式会社

日本電気硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 中山 和俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-193053
公開番号（公開出願番号）：特開2015-058605
出願日： 2013年09月18日
公開日（公表日）： 2015年03月30日
要約：
【課題】優れた耐擦傷性を有する膜付部材を提供する。【解決手段】膜付部材1は、基材10と、膜11とを備える。膜11は、基材10の上に設けられている。膜11は、膜11の表層を構成している酸化ジルコニウム膜を有する。酸化ジルコニウム膜は、酸化ジルコニウム結晶を含み、X線回折測定において、酸化ジルコニウム結晶の(1 1 -1)結晶面による回折ピークが主ピークとして観察される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材と、 前記基材の上に設けられた膜と、 を備え、 前記膜は、前記膜の表層を構成している酸化ジルコニウム膜を有し、 前記酸化ジルコニウム膜は、酸化ジルコニウム結晶を含み、X線回折測定において、前記酸化ジルコニウム結晶の(1 1 -1)結晶面による回折ピークが主ピークとして観察される、膜付部材。
IPC (6件)：
B32B 9/00 ,  C03C 17/245 ,  C23C 14/08 ,  C03C 17/42 ,  C03C 17/34 ,  C01G 25/02
FI (6件)：
B32B9/00 A ,  C03C17/245 A ,  C23C14/08 N ,  C03C17/42 ,  C03C17/34 Z ,  C01G25/02
Fターム (48件)：
4F100AA27B ,  4F100AT00A ,  4F100BA08C ,  4F100BA08D ,  4F100EH66B ,  4F100JA11B ,  4F100JA13B ,  4F100JK12 ,  4F100JK16D ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JM02D ,  4F100JN06C ,  4F100JN06D ,  4F100JN18C ,  4F100JN18D ,  4F100YY00B ,  4G048AA02 ,  4G048AB01 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AD06 ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AC04 ,  4G059AC05 ,  4G059AC22 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EB04 ,  4G059FA11 ,  4G059FA22 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4G059GA16 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BB08 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029EA03 ,  4K029GA02
引用特許：
審査官引用 (5件)
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