透明導電性基板およびその製造方法ならびに光電変換素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤俊哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-176099
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011737
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】200°C以下という低温において、金属酸化物の薄膜を結晶化させて、導電性を付与することができる技術を提供し、透明導電性基板の製造費用の低下、生産性の向上、透明な基材の耐熱性に関する材料選択範囲の拡大による透明導電性基板の性能の拡大に寄与する。【解決手段】透明な基材上に、透明な導電層を形成した透明導電性基板において、基材と導電層との間に下地層を形成し、下地層の導電層に接する部分をジルコニウム酸化物および該酸化物の誘導体から選択された少なくとも一種をを主成分とする、結晶性を有する薄膜として、導電層を形成する、ニオブをドープした酸化チタン等を主成分とする金属酸化物を、結晶性を有する薄膜とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明な基材上に、透明な導電層が形成された透明導電性基板において、前記基材と前記導電層との間に透明な下地層が形成され、前記下地層の前記導電層に接する部分が、ジルコニウム酸化物および該酸化物の誘導体から選択された少なくとも一種を主成分とし、結晶性を有することを特徴とする透明導電性基板。

IPC (7件)：

H01B5/14 , B32B7/02 , B32B9/00 , C23C14/08 , C23C16/40 , H01B13/00 , H01L31/04

FI (7件)：

H01B5/14 A , B32B7/02 104 , B32B9/00 A , C23C14/08 D , C23C16/40 , H01B13/00 503B , H01L31/04 M

Fターム (81件)：

4F100AA21B , 4F100AA25B , 4F100AA27C , 4F100AA28B , 4F100AA33C , 4F100AG00A , 4F100AK01A , 4F100AK52D , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100BA10E , 4F100EH66 , 4F100GB41 , 4F100JA11B , 4F100JA11C , 4F100JG01 , 4F100JG01B , 4F100JK17 , 4F100JL02 , 4F100JM02B , 4F100JM02C , 4F100JN01 , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4F100JN01C , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029BA02 , 4K029BA10 , 4K029BA15 , 4K029BA17 , 4K029BA18 , 4K029BA43 , 4K029BA45 , 4K029BA47 , 4K029BA48 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BC03 , 4K029BC09 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029CA06 , 4K030BA11 , 4K030BA16 , 4K030BA18 , 4K030BA21 , 4K030BA22 , 4K030BA42 , 4K030BA45 , 4K030BA46 , 4K030BA47 , 4K030BB01 , 4K030BB12 , 4K030CA06 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030CA17 , 4K030LA04 , 5F051AA05 , 5F051CA15 , 5F051CB15 , 5F051DA04 , 5F051FA02 , 5F051FA03 , 5F051FA04 , 5F051GA03 , 5F051GA06 , 5F051GA11 , 5G307FA01 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC06 , 5G307FC10 , 5G323BA02 , 5G323BB05

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-227945
導電膜付き基体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-363003 出願人：旭硝子株式会社
透明電極及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-090228 出願人：ホーヤ株式会社

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