樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中山亨 , 坂元徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-237607
公開番号（公開出願番号）：特開2015-127400
出願日： 2014年11月25日
公開日（公表日）： 2015年07月09日
要約：

【課題】良好な形状のレジストパターンを製造することができる樹脂及びレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(I)で表される構造単位及び酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂。[式(I)中、R1は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。L1は、単結合又は炭素数1〜18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わってもよい。L2は、置換基を有してもよい炭素数1〜18の2価の炭化水素基を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される構造単位及び酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂。

IPC (4件)：

C08F 220/36 , G03F 7/038 , G03F 7/004 , G03F 7/039

FI (4件)：

C08F220/36 , G03F7/038 601 , G03F7/004 501 , G03F7/039 601

Fターム (48件)：

2H125AF16P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF27P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF41P , 2H125AF70P , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM27P , 2H125AM99P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CC17 , 2H125FA03 , 2H125FA05 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA03Q , 4J100BA20Q , 4J100BC03Q , 4J100BC09Q , 4J100BC53Q , 4J100BC66P , 4J100CA03 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (6件)

樹脂組成物、及び平版印刷版原版
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-187138 出願人：富士写真フイルム株式会社
酸分解型感光性組成物及び酸分解型平版印刷版
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-115595 出願人：富士写真フイルム株式会社
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-075874 出願人：住友化学株式会社

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