特許
J-GLOBAL ID：201503007327245366
波長可変フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 和昭
, 西田 圭介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-152201
公開番号（公開出願番号）：特開2012-238008
特許番号：特許第5824427号
出願日： 2012年07月06日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】所定の厚みを有し、前記厚み方向に変位可能な可動部、前記可動部を前記厚み方向に変位可能に保持する連結部、を有する第1の基板と、
前記可動部に設けられた第1の反射膜と、
前記第1の基板に対向する面に設けられ前記第1の基板に対する距離が異なる第1の設置面および第2の設置面を有する第2の基板と、
前記第1の設置面に設けられ、前記第1の反射膜の第2の基板側の表面との間に第1のギャップを介して配置された第2の反射膜と、
前記第1の設置面に設けられた検出電極と、
前記第2の設置面に設けられ、前記可動部の前記第1の基板側の面との間に前記第1のギャップより大きいギャップである第2のギャップを介して配置された駆動電極と、
を有することを特徴とする波長可変フィルタ。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, G02B 5/28 ( 200 6.01)
G02B 26/00
, B81B 3/00
, G02B 5/28
