特許
J-GLOBAL ID：201503007661941373
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 鈴木 三義
, 五十嵐 光永
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-169985
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003317
特許番号：特許第5778224号
出願日： 2013年08月19日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布する塗布部とを備える塗布装置であって、
前記基板搬送部に設けられ、前記基板を保持する保持部を有し、前記基板を保持した状態で搬送する搬送機構と、
を備え、
前記搬送機構は、前記基板の搬送方向に移動可能に設けられており、
前記保持部は、前記搬送方向の側方の所定位置に移動可能に設けられており、
前記保持部は、前記基板を吸着可能な吸着パッドと、前記吸着パッドを先端部で支持するパッド押圧部材と、前記パッド押圧部材の前記先端部とは反対側の基端部を支持する軸部材とを備え、
前記パッド押圧部材は、前記軸部材の回転によって前記搬送方向に平行な軸の回りに回転可能とされている
ことを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, B05C 13/02 ( 200 6.01)
, B05C 5/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 564 Z
, G03F 7/20 521
, B05C 13/02
, B05C 5/02
