特許

J-GLOBAL ID：201503007714645119

研磨パッド及びその製造方法

発明者： 宮坂 博仁 ,  立野 哲平 ,  喜樂 香枝 ,  松岡 立馬 ,  佐伯 卓 ,  高木 正孝
出願人/特許権者： 富士紡ホールディングス株式会社
代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  箱田 篤 ,  浅井 賢治 ,  山崎 一夫 ,  市川 さつき ,  佐々木 康匡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-072369
公開番号（公開出願番号）：特開2015-193060
出願日： 2014年03月31日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：

【課題】研磨加工時の異物によって生ずる研磨傷の問題を低減するとともに、研磨レートや平坦性にも優れる研磨パッド及びその製造方法を提供すること。【解決手段】略球状の気泡を含むポリウレタン樹脂シートを有する研磨層を備える研磨パッドであって、前記ポリウレタン樹脂シートが、0.10W/(m・k)以下の熱伝導率を有し、前記ポリウレタン樹脂シートの、45°C、初期荷重200g、歪範囲0.1〜0.5%、測定周波数1.6Hz、引っ張りモードにおける、貯蔵弾性率に対する損失弾性率の割合が、0.130〜0.270の範囲内であり、且つ前記貯蔵弾性率が、60〜100%である、前記研磨パッド。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

略球状の気泡を含むポリウレタン樹脂シートを有する研磨層を備える研磨パッドであって、 前記ポリウレタン樹脂シートが、0.10W/(m・k)以下の熱伝導率を有し、 前記ポリウレタン樹脂シートの、45°C、初期荷重200g、歪範囲0.1〜0.5%、測定周波数1.6Hz、引っ張りモードにおける、貯蔵弾性率に対する損失弾性率の割合が、0.130〜0.270の範囲内であり、且つ 前記ポリウレタン樹脂シートの圧縮弾性率が、60〜100%である、 前記研磨パッド。

IPC (3件)：

B24B 37/24 ,  B24B 37/26 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/00 P ,  B24B37/00 T ,  H01L21/304 622F

Fターム (18件)：

3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158CB10 ,  3C158DA12 ,  3C158EB01 ,  3C158EB12 ,  3C158EB20 ,  3C158EB28 ,  5F057AA03 ,  5F057AA09 ,  5F057AA24 ,  5F057BA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB07 ,  5F057EB13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-228987   出願人：富士紡ホールディングス株式会社
• 研磨パッドおよび研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-165284   出願人：東レ株式会社

審査官引用 (2件)

• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-228987   出願人：富士紡ホールディングス株式会社
• 研磨パッドおよび研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-165284   出願人：東レ株式会社