特許

J-GLOBAL ID：201503008156608534

感光性樹脂組成物

発明者： 野田 国宏 ,  千坂 博樹 ,  塩田 大
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-029033
公開番号（公開出願番号）：特開2015-194719
出願日： 2015年02月17日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：

【課題】低露光量で、所望する断面形状のレジストパターンを形成することができ、且つ、感光性樹脂組成物の塗布膜をしばらく引き置いた後に露光及び現像を行っても、所望する寸法のパターンを形成可能な、ポジ型の感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂と、特定の構造の保護基により保護されたOH基を含み、且つ、露光された状態において所定の構造の親水性基を有する(B)非アルカリ可溶性樹脂とを含む感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)非アルカリ可溶性樹脂とを含有する感光性樹脂組成物であって、 前記(B)非アルカリ可溶性樹脂が、下記式(I):

IPC (8件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/00 ,  C08F 212/08 ,  C08G 8/04 ,  C08G 63/12 ,  C08L 101/12

FI (8件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/00 ,  C08F212/08 ,  C08G8/04 ,  C08G63/12 ,  C08L101/12

Fターム (113件)：

2H125AC43 ,  2H125AC44 ,  2H125AC46 ,  2H125AC54 ,  2H125AC58 ,  2H125AE13P ,  2H125AF53P ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH12 ,  2H125AH19 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ70X ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM25P ,  2H125AM32P ,  2H125AM80P ,  2H125AN02P ,  2H125AN34P ,  2H125AN56P ,  2H125AN68P ,  2H125AN86P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB02 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J002AA00W ,  4J002AA00X ,  4J002AA03W ,  4J002AA03X ,  4J002BB00X ,  4J002BC01X ,  4J002BC02X ,  4J002BC10X ,  4J002BC12W ,  4J002BE04X ,  4J002BG01W ,  4J002BG04X ,  4J002BG05X ,  4J002BG07W ,  4J002BG13X ,  4J002BK00X ,  4J002CC03W ,  4J002EU116 ,  4J002EV026 ,  4J002EV246 ,  4J002EW006 ,  4J002EX006 ,  4J002EX046 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J029AA07 ,  4J029AB01 ,  4J029AB04 ,  4J029AD01 ,  4J029AD02 ,  4J029AE17 ,  4J029AE18 ,  4J029BD08 ,  4J029CD03 ,  4J029FC41 ,  4J029GA02 ,  4J029JC091 ,  4J029JE092 ,  4J029JE152 ,  4J033CA02 ,  4J033CA12 ,  4J033CA29 ,  4J033CB03 ,  4J033CC09 ,  4J033CC11 ,  4J033CD04 ,  4J033CD05 ,  4J033HA02 ,  4J033HA12 ,  4J033HB10 ,  4J100AB01P ,  4J100AB02P ,  4J100AB07P ,  4J100AJ02P ,  4J100AL03P ,  4J100AL08P ,  4J100AL66P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA39 ,  4J100DA40 ,  4J100FA03 ,  4J100FA04 ,  4J100FA28 ,  4J100FA30 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-271238   出願人：富士フイルム株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-284429   出願人：富士フイルム株式会社

審査官引用 (2件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-271238   出願人：富士フイルム株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-284429   出願人：富士フイルム株式会社