特許
J-GLOBAL ID：201203094133374235

感光性樹脂組成物

発明者：
霜山 達也

霜山 達也 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-284429
公開番号（公開出願番号）：特開2012-133091
出願日： 2010年12月21日
公開日（公表日）： 2012年07月12日
要約：
【課題】低誘電率と高い基板密着性を両立可能な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アクリル系共重合体と(B)オキシムスルホネート化合物を含む光酸発生剤と(C)式(c1)で表される化合物、および、(D)溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。式(c1)【化1】(式(c1)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の分岐していてもよいアルキル基、置換基を有しても良いアリール基、置換基を有しても良いシクロアルキル基、またはモルホリノ基を表す。R3は酸素原子または硫黄原子を表し、Aは2価の連結基を表す。)【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシ基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位、または、フェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位、(a1)と、架橋基を有するモノマー単位(a2)と、を含有するアクリル系共重合体、 (B)式(b1)で表されるオキシムスルホネート化合物を含む光酸発生剤、 式(b1)
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/40 501
Fターム (38件)：
2H096AA27 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H096JA04 ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE18P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF52P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AM13P ,  2H125AM26P ,  2H125AM32P ,  2H125AM99P ,  2H125AN29P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN62P ,  2H125AN71P ,  2H125AN82P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA06P ,  2H125BA11P ,  2H125BA32P ,  2H125CA21 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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