特許
J-GLOBAL ID：201503008524397050

酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット

発明者：
金丸 守賀

金丸 守賀 について

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岩崎 祐紀

岩崎 祐紀 について

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松井 實

松井 實 について

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後藤 裕史

後藤 裕史 について

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南部 旭

南部 旭 について


出願人/特許権者：
株式会社コベルコ科研

株式会社コベルコ科研 について


代理人 (5件)： 植木 久一 ,  植木 久彦 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰 ,  竹岡 明美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025477
公開番号（公開出願番号）：特開2012-180265
特許番号：特許第5750065号
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸化亜鉛と、酸化スズと、酸化インジウムの各粉末と、を混合および焼結して得られる酸化物焼結体であって、 前記酸化物焼結体をX線回折し、 2θ=34°近傍のXRDピークの強度をA、 2θ=31°近傍のXRDピークの強度をB、 2θ=35°近傍のXRDピークの強度をC、 2θ=26.5°近傍のXRDピークの強度をD で表したとき、下記式(1)を満足し、かつ前記酸化物焼結体に含まれる金属元素の含有量(原子%)をそれぞれ、[Zn]、[Sn]、[In]としたとき、[Zn]+[Sn]に対する[Zn]の比は、下記式(2)を満足するものであることを特徴とする酸化物焼結体。 [A/(A+B+C+D)]×100≧70 ・・・ (1) [Zn]/([Zn]+[Sn])=0.67〜0.82 ・・・ (2)
IPC (4件)：
C04B 35/453 ( 200 6.01) ,  C04B 35/457 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  H01L 21/363 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C04B 35/00 P ,  C04B 35/00 R ,  C23C 14/34 A ,  H01L 21/363
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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