特許
J-GLOBAL ID:201503008524397050
酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
植木 久一
, 植木 久彦
, 菅河 忠志
, 伊藤 浩彰
, 竹岡 明美
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-025477
公開番号(公開出願番号):特開2012-180265
特許番号:特許第5750065号
出願日: 2012年02月08日
公開日(公表日): 2012年09月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 酸化亜鉛と、酸化スズと、酸化インジウムの各粉末と、を混合および焼結して得られる酸化物焼結体であって、
前記酸化物焼結体をX線回折し、
2θ=34°近傍のXRDピークの強度をA、
2θ=31°近傍のXRDピークの強度をB、
2θ=35°近傍のXRDピークの強度をC、
2θ=26.5°近傍のXRDピークの強度をD
で表したとき、下記式(1)を満足し、かつ前記酸化物焼結体に含まれる金属元素の含有量(原子%)をそれぞれ、[Zn]、[Sn]、[In]としたとき、[Zn]+[Sn]に対する[Zn]の比は、下記式(2)を満足するものであることを特徴とする酸化物焼結体。
[A/(A+B+C+D)]×100≧70 ・・・ (1)
[Zn]/([Zn]+[Sn])=0.67〜0.82 ・・・ (2)
IPC (4件):
C04B 35/453 ( 200 6.01)
, C04B 35/457 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01L 21/363 ( 200 6.01)
FI (4件):
C04B 35/00 P
, C04B 35/00 R
, C23C 14/34 A
, H01L 21/363
引用特許: