特許
J-GLOBAL ID：201503008817324553
腐食性液体の加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
辻川 典範
, 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-139548
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015081
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：
【課題】 コンパクトであって短時間で液体を昇温することができる上、一定の流量で連続的に供給される腐食性液体を一定の温度に加熱できる加熱装置を提供する。【解決手段】 腐食性の液体を加熱する加熱装置であって、ヒータユニット1とヒータユニット1を囲み且つ液体の入口21と出口22とを備えた断熱部材2とを有し、ヒータユニット1はSiCまたはSiCを含む複合材料からなるセラミックプレート12、13とその内部に気密に設けられた加熱用発熱体11とを有し、これら入口21及び出口22に連通し且つヒータユニット1の周りを少なくとも1回螺旋状に旋回した流路23が設けられている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
腐食性の液体を加熱する加熱装置であって、ヒータユニットと前記ヒータユニットを囲み且つ前記液体の入口と出口とを備えた断熱部材とを有し、前記ヒータユニットはSiCまたはSiCを含む複合材料からなるセラミック体とその内部に気密に設けられた加熱用発熱体とを有し、前記入口及び前記出口に連通し且つ前記ヒータユニットの周りを少なくとも1回螺旋状に旋回した流路が設けられている加熱装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
3K092PP11
, 3K092QA04
, 3K092QB27
, 3K092RA06
, 3K092SS02
, 3K092VV16
