特許
J-GLOBAL ID：201503009899114265
発熱点検出方法及び発熱点検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
, 諏澤 勇司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-523964
特許番号：特許第5745629号
出願日： 2012年07月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 集積回路の発熱点の深さを検出する発熱点検出方法であって、
前記集積回路に第1の周波数で増減する周期的電気信号を供給し、それに応じて前記集積回路から検出される発熱量の変化を示す第1の検出信号を取得する第1ステップと、
前記集積回路に前記第1の周波数と異なる第2の周波数で増減する周期的電気信号を供給し、それに応じて前記集積回路から検出される発熱量の変化を示す第2の検出信号を取得する第2ステップと、
前記第1の周波数の周期的電気信号と前記第1の検出信号との間の第1の位相差、及び前記第2の周波数の周期的電気信号と前記第2の検出信号との間の第2の位相差を検出する第3ステップと、
前記第1及び第2の位相差に基づいて、前記周期的電気信号の周波数から算出される変数に対する前記周期的電気信号と前記検出信号との間の位相差の変化率を算出し、前記変化率から前記発熱点の深さ情報を得る第4ステップと、
を備える発熱点検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
出願人引用 (1件)
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Lock-in-Thermography for 3-dimensional localization of electrical defects inside complex packaged de
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