特許

J-GLOBAL ID：201503010178239359

入口組立体

発明者： シーリー アンドリュー ジェイムズ
出願人/特許権者： エドワーズ リミテッド
代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  吉野 亮平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-523605
公開番号（公開出願番号）：特表2015-528096
出願日： 2013年06月20日
公開日（公表日）： 2015年09月24日
要約：

【課題】製造プロセスツールからの流出ガス流を処理する改善されたバーナ用入口組立体および流出ガス堆積物低減方法を提供することにある。【解決手段】バーナ用入口組立体において、入口組立体が、入口孔および同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドが、入口孔と出口孔との間で長手方向軸線に沿って延びているノズルボアを備え、該ノズルボアは、入口孔に連結できる入口パイプからの流出ガスを出口孔に搬送して前記バーナの燃焼チャンバに供給し、ノズルボア内に収容されたノズルボアスクレーパと、該ノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させるべく作動するアクチュエータとを更に有し、前記ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間を前記長手方向軸線に沿って往復動して、ノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とするバーナ用入口組立体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

バーナ用入口組立体において、入口組立体が、 入口孔および同心状に整合した出口孔を備えたマニホルドを有し、該マニホルドが、入口孔と出口孔との間で長手方向軸線に沿って延びているノズルボアを備え、該ノズルボアは、入口孔に連結できる入口パイプからの流出ガスを出口孔に搬送して前記バーナの燃焼チャンバに供給し、 ノズルボア内に収容されたノズルボアスクレーパと、 該ノズルボアスクレーパをノズルボアに対して往復動させるべく作動するアクチュエータとを更に有し、前記ノズルボアスクレーパは、ノズルボア内で休止位置と作動位置との間を前記長手方向軸線に沿って往復動して、ノズルボア内の流出ガス堆積物を低減させることを特徴とするバーナ用入口組立体。

IPC (1件)：

F23D 14/50

FI (1件)：

F23D14/50

Fターム (2件)：

3K017DA01 ,  3K017DA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平4-504613
  
• ガス削減
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-524394   出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー
• 排ガス処理装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-540574   出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー