特許

J-GLOBAL ID：201503010293209314

補償光学素子の設定方法及び顕微鏡

発明者： 松爲 久美子 ,  冨岡 貞祐 ,  浜田 啓作 ,  根本 知己 ,  日比 輝正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  国立大学法人北海道大学
代理人 (1件)： 保坂 丈世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160985
公開番号（公開出願番号）：特開2015-031812
出願日： 2013年08月02日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】精度の高い制御パラメータを決定することが可能な補償光学素子の設定方法及び顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型顕微鏡10における補償光学素子42の設定方法は、基準画像を取得する第1のステップと、補償光学素子により、照明光の波面を2以上の異なる状態に変化させ、各々の状態において、所定位置を含む光軸方向の所定の範囲の複数の位置で標本の画像を取得する第2のステップと、波面の各々の状態において、複数の位置の各々に対応する標本の画像と基準画像との相関値に基づいて判定画像を選択する第3のステップと、基準画像及び波面の各々の状態における判定画像の所定の領域の評価値を算出し、この評価値及び波面の状態に基づいて波面の状態を決定する第4のステップと、決定した波面の状態になるように補償光学素子42を設定する第5のステップと、を有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光源部から放射された照明光の波面を変化させる補償光学素子を含み、前記波面が変化された前記照明光を対物レンズを介して標本に照射する照明光学系と、 前記標本からの光を検出部へ導く検出光学系と、 前記補償光学素子を制御する制御部と、を有する顕微鏡における前記補償光学素子の設定方法であって、 前記対物レンズの焦点面が前記標本の所定位置にあるときの前記標本の画像を基準画像として取得する第1のステップと、 前記制御部は、前記補償光学素子を制御して、前記照明光の波面を2以上の異なる状態に変化させ、各々の前記状態において、前記所定位置を含む前記光軸方向の所定の範囲の複数の位置で前記標本の画像を取得する第2のステップと、 前記波面の各々の状態において、前記複数の位置の各々に対応する前記標本の画像と前記基準画像との相関値に基づいて判定画像をそれぞれ選択する第3のステップと、 前記基準画像及び前記波面の各々の状態における前記判定画像のそれぞれについて所定の領域の評価値を算出し、当該評価値及び前記波面の各々の状態に基づいて、新たに前記波面の状態を決定する第4のステップと、 決定した前記波面の状態になるように前記補償光学素子を設定する第5のステップと、を有することを特徴とする補償光学素子の設定方法。

IPC (1件)：

G02B 21/00

FI (1件)：

G02B21/00

Fターム (10件)：

2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB29 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AF14