特許

J-GLOBAL ID：201503010310916110

誘導自己組織化のための中性層ポリマー組成物及びその方法

発明者： ウー・ヘンペン ,  ポリッシュチャック・オレスト ,  カオ・イ ,  ホン・スンユン ,  イン・ジャン ,  リン・グァンヤン ,  ポーネシュ・マーガレッタ ,  ニーザー・マーク
出願人/特許権者： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ
代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  上西 克礼 ,  虎山 一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-515407
公開番号（公開出願番号）：特表2015-528026
出願日： 2013年05月14日
公開日（公表日）： 2015年09月24日
要約：

本発明は、二つ以上の繰り返し単位及び構造(1)を有する末端を含む新規ポリマーを含む新規のポリマー組成物に関する。式中、R1は、置換されたもしくは置換されていないC1〜C20アルキル基を表し、wは1〜8の数であり、Xは酸素(O)または窒素(N)であり、そしてRdは、反応性基である。また本発明は、該新規ポリマー組成物を用いてパターンを形成する方法にも関する。本発明は更に、該新規ポリマーの製造方法にも関する。

請求項（抜粋）：

a)二つ以上の繰り返し単位及びb)構造1を有する末端を含むポリマーを含むポリマー組成物。

IPC (9件)：

C08F 4/04 ,  C08F 2/00 ,  C08F 212/00 ,  C08F 220/00 ,  C08L 101/00 ,  B82Y 40/00 ,  B82Y 30/00 ,  B05D 1/36 ,  B05D 7/24

FI (9件)：

C08F4/04 ,  C08F2/00 C ,  C08F212/00 510 ,  C08F220/00 510 ,  C08L101/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  B05D1/36 Z ,  B05D7/24 302F

Fターム (31件)：

4D075BB21Z ,  4D075BB66Z ,  4D075DA08 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA41 ,  4D075EB14 ,  4D075EB22 ,  4D075EB43 ,  4J002AA051 ,  4J002AA071 ,  4J002AC031 ,  4J002AC061 ,  4J002BB041 ,  4J002BC041 ,  4J002BC071 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BJ001 ,  4J002EN136 ,  4J002EV236 ,  4J002EV256 ,  4J002FD156 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J011CA02 ,  4J011CA08 ,  4J011CB00 ,  4J011CC01 ,  4J011CC09 ,  4J015AA03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-095192
  
• ポジ型レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-010428   出願人：富士フイルム株式会社
• レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-272233   出願人：富士フイルム株式会社
• 特開昭62-111947
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• SYNTHESIS OF n, w-PHOSPHONATE POLYSTYRENE VIA DEAD END POLYMERIZATION