特許

J-GLOBAL ID：201503010330342381

恒温装置

発明者： 井原 努 ,  李 乙松
出願人/特許権者： 株式会社九州日昌
代理人 (2件)： 加藤 久 ,  久保山 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265397
公開番号（公開出願番号）：特開2014-109543
特許番号：特許第5749240号
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に配列された複数の供試体搭載ステージと、前記供試体搭載ステージを覆うように配置され前記供試体搭載ステージそれぞれの周囲を包囲する隔壁部材及び前記隔壁部材で包囲された前記供試体搭載ステージの上方を閉塞する透光性の天井部材を有する蓋部材と、前記恒温プレート、前記供試体搭載ステージ及び前記蓋部材を覆うカバーと、前記カバー内に気体を導入する給気ファン若しくは前記カバー内の気体を排出する排気ファンの少なくとも一方を備えた恒温装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ( 201 4.01) ,  H01L 33/00 ( 201 0.01)

FI (3件)：

G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 F ,  H01L 33/00 K

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 半導体装置のバーンイン装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-330727   出願人：シャープ株式会社
• 半導体試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-288359   出願人：横河電機株式会社
• エージング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-121014   出願人：エスペック株式会社