特許

J-GLOBAL ID：201503010630015544

抵抗ヒーター

発明者： 森川 裕次 ,  松井 誠彦 ,  大高 昭伸 ,  樋口 剛史 ,  藤村 研介 ,  ルー ジョン ハオ
出願人/特許権者： モーメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・インク
代理人 (6件)： 山田 威一郎 ,  松井 宏記 ,  立花 顕治 ,  田中 順也 ,  山下 未知子 ,  桝田 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-501882
公開番号（公開出願番号）：特表2015-518627
出願日： 2013年03月20日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：

抵抗ヒーターが図示及び記載される。本抵抗ヒーターは本体を有してもよい。本体は、概ね滑らかで概ね平坦である少なくとも1つの加熱面と、本体に形成される凹部とを有してもよい。本体の少なくとも一部は、略U字形状、略I字形状、及び略H字形状からなる群から選択される断面形状を有する。この断面形状は本体の少なくとも一部にわたって延在する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

抵抗ヒーターであって、該抵抗ヒーターは、 本体を備え、該本体は、 概ね滑らかで概ね平坦である少なくとも1つの加熱面と、 該本体に形成される凹部とを有し、 前記本体の少なくとも一部は、略U字形状、略I字形状、及び略H字形状からなる群から選択される断面形状を有し、 前記断面形状は前記本体の少なくとも一部にわたって延在する、抵抗ヒーター。

IPC (5件)：

H05B 3/20 ,  H01L 21/02 ,  H05B 3/14 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/46

FI (7件)：

H05B3/20 356 ,  H01L21/02 Z ,  H05B3/14 F ,  H05B3/20 328 ,  H01L21/205 ,  C23C16/46 ,  H05B3/14 C

Fターム (21件)：

3K034AA02 ,  3K034AA12 ,  3K034AA21 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034JA10 ,  3K092PP09 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB26 ,  3K092QB44 ,  3K092RF03 ,  3K092VV26 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030KA23 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  5F045EK07 ,  5F045EK08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-325214   出願人：モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社
• 半導体製造装置用部品および半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-432153   出願人：日本碍子株式会社
• 特許第6285011号