特許

J-GLOBAL ID：200903016689517489

ヒータ

発明者： 森川 裕次 ,  松井 誠彦 ,  大高 昭伸 ,  樋口 剛史 ,  藤村 研介
出願人/特許権者： モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社
代理人 (1件)： ▲桑▼原 史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-325214
公開番号（公開出願番号）：特開2008-140647
出願日： 2006年12月01日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】電気抵抗を大きくすると共に高温時でも撓みや反りを生じないような強度を有するヒータを提供する。【解決手段】加熱面4を平滑面にしながら、加熱面と反対側の面に凹部5を形成したことを特徴とするヒータ1である。好ましくは、加熱面と反対側の面において、断面両側部を残して該両側部に挟まれた中央部を凹設することにより凹部5を形成し、該両側部が長さ方向に連続的に延長するリブ6,6を形成する。凹部を形成することによりヒータの電気抵抗が増大する。また、リブを形成することにより強度が増大し、高温時の変形を防止する。さらに、端子接続穴3を有する端子部以外の部分に凹部が形成されることで、凹部が形成されない端子部の断面積が相対的に大きくなり、電気抵抗が小さくなって発熱が防止されるので、端子部を含めてヒータ全体を略同幅に形成することができ、ヒータパターンを自在に設計することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

加熱面を平滑面にしながら、加熱面と反対側の面に凹部を形成したことを特徴とするヒータ。

IPC (3件)：

H05B 3/22 ,  H05B 3/68 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H05B3/22 ,  H05B3/68 ,  H01L21/205

Fターム (19件)：

3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034BB14 ,  3K034HA04 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB09 ,  3K092QB15 ,  3K092QB31 ,  3K092QB32 ,  3K092QC37 ,  3K092RF02 ,  3K092RF03 ,  3K092RF17 ,  3K092VV26 ,  3K092VV32 ,  4K030CA04 ,  4K030KA24 ,  5F045EK09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板加熱用清浄超高温ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-319187   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (3件)

• 加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-253255   出願人：東芝機械株式会社
• ヒータとウェハ加熱装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-156188   出願人：京セラ株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-024452   出願人：株式会社日立国際電気