特許
J-GLOBAL ID：201503010760738530
除染処理装置および除染処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
神崎 真一郎
, 神崎 真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268273
公開番号（公開出願番号）：特開2015-123162
出願日： 2013年12月26日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：
【解決手段】 被除染物が収容されるチャンバの内部に、所定量の除染蒸気を送気手段によって送気する供給工程と、給排気手段を作動させてチャンバ内を換気することにより除染成分を除去する除去工程S4とが設定された除染処理装置および除染処理方法に関する。 上記供給工程を複数回繰り返す場合は、これら供給工程と供給工程との間に、上記給排気手段を作動させてチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させる乾燥工程S2を設定し、 当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は上記給排気手段によってチャンバ内を陽圧に維持する。【効果】 複雑な形状を有する被除染物の除染を行うことが可能であるとともに、チャンバ内への細菌等の侵入を防止することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被除染物が収容されるチャンバと、除染剤を蒸発させる加熱手段と、蒸発した除染蒸気をチャンバ内に送気する送気手段と、チャンバ内を換気する給排気手段と、これらの作動を制御する制御手段とを備え、
上記制御手段に、上記加熱手段および送気手段を作動させて所定量の除染蒸気をチャンバ内に供給する供給工程と、当該供給工程の後で上記給排気手段を作動させてチャンバ内の除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理装置において、
上記給排気手段は、給気手段と排気手段とを備えて給排気量を調節可能に構成され、
上記制御手段は、上記供給工程を複数回繰り返すよう設定されるとともに、これら供給工程と供給工程との間に、上記給排気手段を作動させてチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させる乾燥工程が設定され、
当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は給排気手段の給排気量を調節してチャンバ内を陽圧に維持することを特徴とする除染処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4C058AA12
, 4C058AA25
, 4C058BB07
, 4C058CC07
, 4C058DD06
, 4C058DD11
, 4C058JJ12
, 4C058JJ28
