特許
J-GLOBAL ID：201503010850749328

レンズ駆動装置およびレーザ加工装置

発明者：
中井 孝洋

中井 孝洋 について

, 
進士 忠彦

進士 忠彦 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について

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国立大学法人東京工業大学

国立大学法人東京工業大学 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076164
公開番号（公開出願番号）：特開2013-202679
特許番号：特許第5745448号
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光して被加工物に照射する加工レンズと、 前記加工レンズを保持するレンズホルダと、 前記レンズホルダを、静圧空気軸受けを用いて浮上させ、かつ前記レンズホルダを、前記レンズホルダの主面と平行な平面内に配置された電磁石により前記加工レンズの主面と平行な平面内で駆動するアクチュエータと、 前記レンズホルダの位置を測定する変位計と、 各前記電磁石へ流す電流が等しい状態で前記レンズホルダが停止する電気的な中心位置を検出するとともに、前記変位計を用いて測定されたレンズホルダの位置に基づいて前記レンズホルダの中心位置である測定中心位置を検出する信号処理装置と、 を備え、 前記信号処理装置は、前記レンズホルダの電気的な中心位置と前記測定中心位置との間の位置ずれ量を算出するとともに、前記位置ずれ量を補正した位置に前記レンズホルダが移動するよう前記アクチュエータに電流を流すことを特徴とするレンズ駆動装置。
IPC (3件)：
B23K 26/04 ( 201 4.01) ,  B23K 26/00 ( 201 4.01) ,  B23K 26/14 ( 201 4.01)
FI (3件)：
B23K 26/04 ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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