特許
J-GLOBAL ID：201503011785100099
検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-134802
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217940
特許番号：特許第5763712号
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウェハ上で検出された欠陥の欠陥クリティカル度指数を決定するためのコンピュータ実施方法であって、この実施方法は、
光学検査システムまたは電子ビーム検査システムを用いて前記欠陥を検出するステップと、
前記欠陥が前記ウェハ上に加工されているデバイスの1つ又は複数の電気的属性を変える確率を、設計データ空間における前記欠陥の前記位置に近接する、前記デバイスに対する設計データの1つ又は複数の属性に基づいて、決定するステップと、
前記欠陥が1つ又は複数の電気的属性を変える前記確率に基づいて前記欠陥に対する前記欠陥クリティカル度指数を決定するステップであって、前記欠陥クリティカル度指数を決定するステップは、欠陥クリティカル度指数の値を決定することを含む、ステップと、
記録媒体に前記欠陥クリティカル度指数を格納するステップと、を備え、
前記確率を決定するステップと、前記欠陥クリティカル度指数を決定するステップと、前記欠陥クリティカル度指数を格納するステップとは、コンピュータ・システムを用いて実行され、
前記実施方法はさらに、前記設計データにおける歩留まりの、欠陥に対する感度に基づいて前記欠陥クリティカル度指数を修正するステップを含むことを特徴とする、コンピュータ実施方法。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01N 21/956 A
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 J
