特許
J-GLOBAL ID：201503011907934000

排水構造および基板処理装置

発明者：
牛丸 誠也

牛丸 誠也 について

, 
田中 智裕

田中 智裕 について

, 
西田 弘明

西田 弘明 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (4件)： 大野 聖二 ,  森田 耕司 ,  鈴木 守 ,  加藤 真司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-266882
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122465
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】 容易に脱着が可能であると共に、振動等によっては簡単に外れることのないストレーナの取付構造を提供する。 【解決手段】 排水構造は、基板処理装置のポリッシャーパンの排水口の縁部に突設された3つの凸部12と、ポリッシャーパンから異物が排出することを防止するストレーナとを備え、ストレーナは、3つの凸部12に同時に当接すると共に3つの凸部12を内嵌めする枠14を有する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板処理装置のポリッシャーパンの排水口の縁部に突設された複数の凸部と、 前記ポリッシャーパンから異物が排出することを防止するストレーナと、 を備え、 前記ストレーナは、前記複数の凸部を内嵌めする枠を有する排水構造。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  B24B 41/02 ,  B23Q 11/00
FI (3件)：
H01L21/304 622Q ,  B24B41/02 ,  B23Q11/00 Q
Fターム (10件)：
3C011BB21 ,  3C034AA19 ,  3C034BB11 ,  3C034BB87 ,  3C034DD20 ,  5F057AA37 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057FA36
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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