特許
J-GLOBAL ID：201503012807920350
微小メカニカル素子およびその作製方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-086100
公開番号（公開出願番号）：特開2013-215811
特許番号：特許第5819766号
出願日： 2012年04月05日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成された支持部と、
前記基板から離間した状態で、長さ方向に沿って寸法が変化するように形成された微小動作部と、
前記支持部と前記微小動作部とを接続する接続部とを備え、
前記微小動作部は、長さ方向に沿って厚さと幅が変化するように形成され、
前記接続部は、前記支持部と前記微小動作部の厚さが大きい方の端部とを接続し、前記微小動作部よりも長さが小さく、前記微小動作部の最も幅が大きい部分よりも幅が小さく、前記微小動作部の厚さが大きい方の端部よりも厚さが小さいことを特徴とする微小メカニカル素子。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ( 200 6.01)
, B81C 1/00 ( 200 6.01)
, H03H 9/24 ( 200 6.01)
, H03H 3/007 ( 200 6.01)
B81B 3/00
, B81C 1/00
, H03H 9/24 Z
, H03H 3/007 Z
