特許
J-GLOBAL ID：201503014133578263
回折格子および回折格子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-264224
公開番号（公開出願番号）：特開2015-121605
出願日： 2013年12月20日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】 InPまたはInAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子の格子溝を精度良く機械加工すること【解決手段】 InPまたはInAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子10の製造方法は、機械加工によって被加工物Wの被加工面に複数の格子溝17を形成してブレーズ型回折格子を形成する際(S150)、各格子を構成する面のうち前記入射光を最も多く受光する面が結晶材料の結晶方位である(110)面となるように格子溝を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の格子溝が形成され、InPまたはInAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子であって、
前記格子溝は2つの面を含んで構成され、前記2つの面の少なくとも一方の面が前記結晶材料の結晶方位である(110)面であることを特徴とするブレーズ型回折格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G020CC02
, 2G020CC08
, 2G020CD22
, 2H249AA13
, 2H249AA22
, 2H249AA32
, 2H249AA44
, 2H249AA58
