特許
J-GLOBAL ID：201503014330188698

画質調整方法、プログラムおよび電子顕微鏡

発明者：
石 井 多加志

石 井 多加志 について

, 
濱 口 晶

濱 口 晶 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  箱崎 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-194956
公開番号（公開出願番号）：特開2014-053086
特許番号：特許第5798099号
出願日： 2012年09月05日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 同一形状の複数のパターンについて得られた画像の画質を調整する方法であって、 参照画像中の第1の領域から画像のブライトネスの基準となる第1の画素値と、前記参照画像中でエッジを含む第2の領域の輝度プロファイルを表す第1の波形と、を取得する工程と、 前記複数のパターンが設けられた試料に電子ビームを照射して前記試料から生成する二次電子および反射電子を検出して試料画像を取得する工程と、 得られた試料画像中で前記第1および第2の領域に対応する領域から第2の画素値と輝度プロファイルを表す第2の波形とをそれぞれ取得する工程と、 前記第2の画素値および前記第2の波形と前記第1の画素値および前記第1の波形との間でマッチングを実行して前記試料画像のブライトネスおよびコントラストを調整する工程と、 を備える画質調整方法。
IPC (3件)：
H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  G06T 1/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01J 37/22 502 E ,  H01J 37/22 502 F ,  H01J 37/22 502 H ,  G06T 1/00 305 Z ,  H01L 21/66
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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