特許
J-GLOBAL ID:201503014442808907
セリア含有廃研磨材の再生方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-531850
公開番号(公開出願番号):特表2015-535750
出願日: 2013年09月11日
公開日(公表日): 2015年12月17日
要約:
【課題】 本発明は、セリア含有廃研磨材に含まれている不純物を効果的に除去しながら、適切な粒度分布および結晶サイズと、これに伴う好ましい研磨率などを示すセリア含有再生研磨材への再生を可能にするセリア含有廃研磨材の再生方法に関するものである。【解決手段】 前記セリア含有廃研磨材の再生方法は、セリア(CeO2)含有廃スラッジを強塩基およびフッ酸を含む溶解剤溶液に溶解させる段階と、前記セリア含有廃スラッジを洗浄してシリカ(SiO2)含有不純物を除去する段階と、前記洗浄されたセリア含有廃スラッジをCD乾燥機(Compact Disc dreyer)で乾燥する段階と、アンモニウム塩、アルカリ金属塩、金属酸化物、金属酸素酸、またはアルカリ土類金属塩を含むフラックスの存在下、前記廃スラッジを800°C以上の温度で焼成する段階とを含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
セリア(CeO2)含有廃スラッジを強塩基およびフッ酸を含む溶解剤溶液に溶解させる段階と、
前記セリア含有廃スラッジを洗浄してシリカ(SiO2)含有不純物を除去する段階と、
前記洗浄されたセリア含有廃スラッジをCD乾燥機(Compact Disc dreyer)で乾燥する段階と、
アンモニウム塩、アルカリ金属塩、金属酸化物、金属酸素酸、またはアルカリ土類金属塩を含むフラックスの存在下、前記廃スラッジを800°C以上の温度で焼成する段階とを含むことを特徴とする、セリア含有廃研磨材の再生方法。
IPC (5件):
B24B 57/00
, B24B 37/00
, B09B 3/00
, C02F 11/00
, C02F 11/12
FI (8件):
B24B57/00
, B24B37/00 H
, B09B3/00 Z
, C02F11/00 M
, C02F11/12 B
, B09B3/00 303A
, B09B3/00 304J
, C02F11/00 C
Fターム (58件):
3C047FF08
, 3C047GG14
, 3C047GG17
, 3C158AA07
, 3C158AC04
, 3C158CA06
, 3C158CB05
, 3C158DA02
, 3C158DA17
, 3C158EB01
, 3C158ED11
, 3C158ED28
, 4D004AA16
, 4D004AB03
, 4D004AB05
, 4D004BA10
, 4D004CA04
, 4D004CA08
, 4D004CA13
, 4D004CA15
, 4D004CA30
, 4D004CA40
, 4D004CA42
, 4D004CB13
, 4D004CB31
, 4D004CB50
, 4D004CC03
, 4D004CC11
, 4D004CC12
, 4D004DA02
, 4D004DA03
, 4D004DA06
, 4D004DA10
, 4D004DA20
, 4D059AA30
, 4D059BB02
, 4D059BD12
, 4D059BE01
, 4D059BE31
, 4D059BE38
, 4D059BJ00
, 4D059BK05
, 4D059BK06
, 4D059BK11
, 4D059BK30
, 4D059CC10
, 4D059DA01
, 4D059DA02
, 4D059DA11
, 4D059DA31
, 4D059DA35
, 4D059DA39
, 4D059DA41
, 4D059DA46
, 4D059EB05
, 4D059EB06
, 4D059EB07
, 4D059EB16
引用特許:
出願人引用 (4件)
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セリウム系研磨剤の再生方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-105820
出願人:AGCセイミケミカル株式会社
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酸化セリウム研磨材のリサイクル方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-054528
出願人:エルジー・ケム・リミテッド
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特開昭53-010168
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スラリー乾燥機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-280421
出願人:サントリー株式会社
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審査官引用 (4件)