特許
J-GLOBAL ID：200903017490303745
セリウム系研磨剤の再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 信夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-105820
公開番号（公開出願番号）：特開2007-276055
出願日： 2006年04月07日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】 研磨速度が大幅に低下し通常は廃棄されているセリウム系研磨剤を再生する方法を提供する。【解決手段】 使用済みセリウム系研磨剤を水で再分散したスラリーとし、当該再分散スラリーを酸で処理し、得られた酸処理スラリーを固液分離し、得られたケーキを乾燥、解砕するか、または、好ましくは当該乾燥ケーキを焼成し、解砕する工程を実施することによりセリウム系研磨剤を再生方法する。ここで酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸を単独または二種類以上併用することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
使用済みセリウム系研磨剤を処理して再生研磨剤を得る方法において、当該使用済み研磨剤粒子を水で再分散したスラリーを、スラリー状態のまま少なくとも酸で処理する工程を含むことを特徴とするセリウム系研磨剤の再生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B57/02
, C09K3/14 550D
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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