特許
J-GLOBAL ID：201503015689255485

走査型プローブ顕微鏡制御方法及び走査型プローブ顕微鏡装置

発明者：
プロディネク、マリア

プロディネク、マリア について

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ロパリク、マルコ

ロパリク、マルコ について

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リム、ロデリック イーハー

リム、ロデリック イーハー について


出願人/特許権者：
ウニヴェルズィテート バーゼル

ウニヴェルズィテート バーゼル について


代理人 (1件)： 山口 朔生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-545315
公開番号（公開出願番号）：特表2015-500990
出願日： 2012年12月12日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
要約：
本発明は、試料(4)と相互作用するための先端(21)を有するプローブ(2)、及び試料(4)又はプローブ(2)を保持するためのナノスキャナ(1)を有する走査型プローブ顕微鏡制御方法であって、先端(21)が試料(4)に向かって移動する第1の方向(R)に沿った圧電素子(1)の伸長をモニタする工程、及びナノスキャナ(1)が閾値を下回るか又は閾値を超える伸長を示した際に、追加アクチュエータ(3)により、第1の方向(R)に沿ってプローブ(2)のレベルを調節する工程を含む方法に関する。更に、本発明は、走査型プローブ顕微鏡を制御するための装置(100)に関する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料(4)と相互作用する先端(21)を有するプローブ(2)と、前記試料(4)又は前記プローブ(2)を保持するナノスキャナ(1)とを備えた走査型プローブ顕微鏡を制御する走査型プローブ顕微鏡制御方法であって、 前記先端(21)が前記試料(4)に向かって移動する第1の方向(R)に沿った前記ナノスキャナ(1)の伸長をモニタする工程と、 モニタされた前記ナノスキャナ(1)の示す伸長が閾値より小なるとき、又は、閾値より大なるとき、追加アクチュエータ(3)によって前記プローブ(2)のレベルを前記第1の方向(R)に沿って調節する工程と、 を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡制御方法。
IPC (2件)：
G01Q 10/06 ,  G01Q 60/24
FI (2件)：
G01Q10/06 ,  G01Q60/24
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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