特許

J-GLOBAL ID：201503015690790093

圧電素子、圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置

発明者： 鶴野 次郎 ,  舩坂 司 ,  中村 友亮 ,  宮澤 弘 ,  伊藤 浩 ,  山田 昌佳
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 井上 一 ,  竹腰 昇 ,  黒田 泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-021194
公開番号（公開出願番号）：特開2015-195351
出願日： 2015年02月05日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：

【課題】圧電体のクラックを回避し、圧電体の圧電効果を最大限に生かすことができる圧電素子を提供する。【解決手段】超音波トランスデューサー素子57は、振動膜58と、振動膜58上に配置される圧電体63と、圧電体63上に配置される第1電極61と、圧電体63上であって第1電極61と隔てられた位置に配置される第2電極62と、振動膜58の厚み方向からの平面視で、第1電極61および第2電極62の間に位置し圧電体63の表面を2分割する溝64とを備える。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

振動膜と、 前記振動膜上に配置される圧電体と、 前記圧電体上に配置される第1電極と、 前記圧電体上であって前記第1電極と隔てられた位置に配置される第2電極と、 前記振動膜の厚み方向からの平面視で、前記第1電極および前記第2電極の間に位置し前記圧電体の表面を2分割する溝と、 を備えることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/113 ,  H01L 41/053 ,  H01L 41/257 ,  H01L 41/23 ,  A61B 8/14 ,  H04R 17/00

FI (6件)：

H01L41/113 ,  H01L41/053 ,  H01L41/257 ,  H01L41/23 ,  A61B8/14 ,  H04R17/00 332A

Fターム (13件)：

4C601GB02 ,  4C601GB06 ,  4C601GB14 ,  4C601GB19 ,  4C601GB20 ,  4C601GB25 ,  4C601GB33 ,  4C601LL26 ,  5D019AA20 ,  5D019BB19 ,  5D019FF03 ,  5D019GG01 ,  5D019GG03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-170199
  
• 特開昭58-159735
  
• 圧電センサー装置、および圧電センサー装置における圧電体の分極方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-132885   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-187465   出願人：セイコーエプソン株式会社