特許
J-GLOBAL ID：201503016013481200

温度センサ及びその製造方法

発明者：
長友 憲昭

長友 憲昭 について

, 
稲場 均

稲場 均 について

, 
田中 寛

田中 寛 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076410
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205319
特許番号：特許第5776941号
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁性基材と、 該絶縁性基材上に形成された薄膜サーミスタ部と、 互いに対向した一対の対向電極部を前記薄膜サーミスタ部上に配して前記絶縁性基材上に形成された一対のパターン電極とを備え、 前記薄膜サーミスタ部が、TiAlNのサーミスタ材料で形成され、 前記パターン電極が、前記薄膜サーミスタ部上に形成されたTiNの接合層と、 該接合層上に貴金属で形成された電極層とを有していることを特徴とする温度センサ。
IPC (4件)：
G01K 7/22 ( 200 6.01) ,  H01C 7/04 ( 200 6.01) ,  H01C 17/06 ( 200 6.01) ,  H01C 17/12 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G01K 7/22 A ,  G01K 7/22 N ,  H01C 7/04 ,  H01C 17/06 P ,  H01C 17/12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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