高純度クロロシランの製造方法および製造装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084417
公開番号（公開出願番号）：特開2013-212957
特許番号：特許第5751202号
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】固体ケイ素原料を150°C以上の温度で塩素化することにより、テトラクロロシランおよびヘキサクロロジシランを含むクロロシラン蒸気を発生させる第1工程と、クロロシラン蒸気を冷却トラップ中に流通させ、表面温度が-70°C以上0°C以下である冷却部にクロロシラン蒸気を接触させて、クロロシラン蒸気中に含まれる塩化アルミニウムを析出させる第2工程を含むことにより、塩化アルミ濃度が20質量ppm以下の高純度クロロシランを製造する方法。

IPC (1件)：