特許
J-GLOBAL ID：201503017490091176

化学強化ガラス基板の加工方法

発明者：
植松 照博

植松 照博 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242339
公開番号（公開出願番号）：特開2015-101500
出願日： 2013年11月22日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：
【課題】化学強化ガラス基板の表面に感光性樹脂組成物を用いてエッチングマスクを形成した後に、化学強化ガラス基板の表面にエッチング加工を施す方法であって、エッチングマスクの残渣を殆ど発生させることなく化学強化ガラス基板の表面から速やかにエッチングマスクを除去できる化学強化ガラス基板の加工方法と、当該加工方法に供される化学強化ガラス基板とを提供すること。【解決手段】感光性樹脂組成物を用いて形成されるエッチングマスクを備える化学強化ガラス基板をエッチング加工する際に、エッチングを施される面の、表面から深さ10μmまでの表層のナトリウムとカリウムの元素成分比率合計が13質量%以下である化学強化ガラス基板を用いる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ビッカース硬度が500kgf/mm2以上である化学強化ガラス基板の加工方法であって、 前記化学強化ガラス基板に、感光性樹脂組成物からなる塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、 前記塗布膜を位置選択的に露光する露光工程と、 露光された前記塗布膜を現像して、所望の形状にパターン化されたエッチングマスクを得るエッチングマスク形成工程と、 前記エッチングマスクを備える前記化学強化ガラス基板をエッチングするエッチング工程と、 前記エッチングマスクを前記化学強化ガラス基板の表面から剥離させる剥離工程と、を含み、 前記化学強化ガラス基板のエッチングを施される面の、表面から深さ10μmまでの表層のナトリウムとカリウムの元素成分比率合計が、13質量%以下である、化学強化ガラス基板の加工方法。
IPC (2件)：
C03C 15/00 ,  G03F 7/42
FI (2件)：
C03C15/00 D ,  G03F7/42
Fターム (36件)：
2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096HA11 ,  2H096LA03 ,  2H125AC34 ,  2H125AC36 ,  2H125AD05 ,  2H125AE03P ,  2H125AF57P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM54P ,  2H125AM80P ,  2H125AN39P ,  2H125AP09P ,  2H125BA04P ,  2H125CA11 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CC17 ,  2H125CD17N ,  2H125CD40 ,  2H125DA33 ,  2H196AA27 ,  2H196BA05 ,  2H196BA06 ,  2H196HA11 ,  2H196LA03 ,  4G015FA01 ,  4G015FB01 ,  4G015FC10 ,  4G059AA08 ,  4G059AB06 ,  4G059AC30 ,  4G059BB04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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