特許
J-GLOBAL ID：201503017723244660
放電電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-239007
公開番号（公開出願番号）：特開2014-089880
特許番号：特許第5724986号
出願日： 2012年10月30日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに離間して配置される一対の円盤状の放電電極と、上記放電電極にパルス電力を供給するパルス電力供給手段と、光を放射させるための原料を前記放電電極上に供給する原料供給手段と、上記放電電極の曲面上の原料にエネルギービームを照射して当該原料を気化するエネルギービーム照射手段とを有し、上記原料供給手段は、上記原料の融液を充填した容器を備え、上記各放電電極が回転し、当該各放電電極の一部が前記容器内に充填された原料融液を通過することにより、上記各放電電極の一部に上記原料が付着するように構成された光源装置における放電電極であって、
上記各放電電極の2つの円形表面の、上記原料が付着する円環状の領域の一部に、複数の円環状の捕獲用溝部が同心円状に設けられている
ことを特徴とする放電電極。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
H05G 2/00 K
, H01L 21/30 531 S
