特許
J-GLOBAL ID：201503018586806067
検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
金本 哲男
, 亀谷 美明
, 萩原 康司
, 扇田 尚紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184086
公開番号（公開出願番号）：特開2014-041957
特許番号：特許第5705180号
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板同士を接合した重合基板を検査する検査装置であって、
重合基板を保持して回転させる保持部と、
前記保持部に保持された重合基板を回転させながら、当該重合基板を構成する第1の基板と第2の基板の外側面の変位をそれぞれ測定する変位計と、
重合基板の裏面を保持し、平面視において重合基板の裏面の一部が露出するように切り欠き部が形成された他の保持部と、
前記他の保持部に保持された重合基板の前記切り欠き部から露出した裏面に赤外線を照射する赤外線照射部と、
前記赤外線照射部から照射された赤外線を受信し、前記他の保持部に保持された重合基板を前記切り欠き部で露出した裏面毎に分割して撮像する撮像部と、を有することを特徴とする、検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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