特許
J-GLOBAL ID：201503018664412526

粒子分光計のための分析装置

発明者：
ビョルン・ヴァンベリ

ビョルン・ヴァンベリ について


出願人/特許権者：
ヴィゲー・シエンタ・アーベー

ヴィゲー・シエンタ・アーベー について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-560888
公開番号（公開出願番号）：特表2015-511055
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：
本発明は、粒子放出試料(11)から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター、例えば粒子のエネルギー、開始方向、開始位置、又はスピンに関するパラメーターを決定するための方法に関する。上記の方法は、荷電粒子のビームをレンズシステム(13)によって測定領域の入口へ導くステップと、測定領域内で上記の少なくとも一つのパラメーターの指標となる粒子の位置を検出するステップと、を備える。さらに、上記の方法は、粒子ビームが測定領域に入射する前に、同じ座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるステップを備える。それによって、測定領域(3)の入口(8)における粒子ビームの位置及び方向の両方は、試料(11)の物理的な操作の必要性をある程度除くように制御されることが可能である。次に、これによって、エネルギー測定におけるエネルギー分解能を改善できるように、試料が効率的に冷却されることが可能になる。
請求項（抜粋）：
粒子放出試料(11)から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、 前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸(15)を有するレンズシステム(13)によって前記粒子放出試料(11)と測定領域(3)の入口(8)との間で粒子を輸送するステップと、 前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第1座標方向(x、y)において前記粒子ビームを偏向させるステップと、 前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、 前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第1座標方向(x、y)において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップをさらに備えることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
H01J 49/48 ,  G01N 23/20
FI (2件)：
H01J49/48 ,  G01N23/20 390
Fターム (9件)：
2G001AA03 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001EA04 ,  2G001JA03 ,  5C038KK02 ,  5C038KK07 ,  5C038KK20 ,  5C038KK22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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