特許
J-GLOBAL ID：201703017787129518

粒子分光計のための分析装置

発明者：
ビョルン・ヴァンベリ

ビョルン・ヴァンベリ について


出願人/特許権者：
シエンタ・オミクロン・アーベー

シエンタ・オミクロン・アーベー について


代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-145165
公開番号（公開出願番号）：特開2016-197124
出願日： 2016年07月25日
公開日（公表日）： 2016年11月24日
要約：
【課題】粒子分光測定、例えば光電子分光測定等におけるエネルギー分解能を向上させる装置を提供する。【解決手段】粒子放出試料11から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター、例えば粒子のエネルギー、開始方向、開始位置、又はスピンに関するパラメーターを決定するため、荷電粒子のビームをレンズシステム13によって測定領域の入口へ導くステップと、測定領域内で少なくとも一つのパラメーターの指標となる粒子の位置を検出するステップと、を備え、粒子ビームが測定領域に入射する前に、同じ座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるステップを備えることによって、測定領域3の入口8における粒子ビームの位置及び方向の両方は、試料11の物理的な操作の必要性をある程度除くように制御され、エネルギー測定におけるエネルギー分解能を改善できるように、試料が効率的に冷却される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
粒子放出試料(11)から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、 前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸(15)を有するレンズシステム(13)によって前記粒子放出試料(11)と測定領域(3)の入口(8)との間で粒子を輸送するステップと、 前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第1座標方向(x、y)において前記粒子ビームを偏向させるステップと、 前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、 前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、 前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第1座標方向(x、y)において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップと、 前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布(39)の所定の部分(A、B)が前記測定領域(3)の前記入口(8)を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップと、 をさらに備えることを特徴とする方法。
IPC (1件)：
G01N 23/227
FI (1件)：
G01N23/227 310
Fターム (5件)：
2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001EA04 ,  2G001JA05 ,  2G001PA11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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