特許

J-GLOBAL ID：201503018878970380

種結晶保持部材、結晶製造装置及び結晶の製造方法

発明者： 藤井 邦治 ,  武井 康一 ,  蔵重 和央 ,  ナチムス セングットバン ,  長井 一郎 ,  加藤 智久 ,  三谷 武志 ,  高橋 徹夫 ,  小松 直佳
出願人/特許権者： 日立化成株式会社 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  古下 智也 ,  中山 浩光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-253482
公開番号（公開出願番号）：特開2015-110497
出願日： 2013年12月06日
公開日（公表日）： 2015年06月18日
要約：

【課題】高品質な結晶を十分な成長速度で得られる種結晶保持部材、結晶製造装置及び結晶の製造方法を提供する。【解決手段】種結晶保持部材6では、固定面8aと保持面8bとが中空部9を挟んで対向する本体部8において、固定面8aと保持面8bとの対向方向から見たときに、中空部9と重なるように保持面8bが設定されている。すなわち、この種結晶保持部材6では、保持面8bに種結晶Cを保持させたときに、種結晶Cの全面が中空部9と対向することとなる。この構成によれば、結晶を成長させる際に種結晶Cの全面にわたって一様に中空部9を介して種結晶Cが有する熱を固定面8a方向へ輻射させることができる。したがって、種結晶Cの面内で均一に種結晶Cと原料溶液Sとの間の温度勾配を形成できるため、高品質な結晶を十分な成長速度で得ることが可能となる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

支持部材に取り付けられて用いられ、溶液成長法により結晶を成長させる際に種結晶を保持する種結晶保持部材であって、 前記支持部材へ固定される固定面と、前記種結晶を保持する保持面とが中空部を挟んで対向する本体部を備え、 前記固定面と前記保持面との対向方向から見たときに、前記中空部と重なるように前記保持面が設定されていることを特徴とする種結晶保持部材。

IPC (2件)：

C30B 17/00 ,  C30B 29/36

FI (2件)：

C30B17/00 ,  C30B29/36 A

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077CC04 ,  4G077EG11 ,  4G077EG17 ,  4G077LA03