特許
J-GLOBAL ID：201503019567549920

感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びレジストパターンの形成方法

発明者：
玉田 春仙

玉田 春仙 について

, 
沢辺 賢

沢辺 賢 について


出願人/特許権者：
日立化成株式会社

日立化成株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  酒巻 順一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-223505
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087427
出願日： 2013年10月28日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】充分に高い耐酸性、密着性及び可とう性を有するレジストパターンを形成できる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)(メタ)アクリル酸構造単位及び置換基を有してもよい、フェニルオキシアルキレン(メタ)アクリレート構造単位を有するバインダーポリマー、(B)光重合性化合物、並びに(C)光重合開始剤を含有し、前記(B)成分が前記(B)成分が一般式(III)で表される不飽和基を1分子中に少なくとも1つ有する化合物を含む感光性樹脂組成物。[R4は水素原子又はメチル基を示し、R5及びR6はエチレン基又はプロピレン基を示す。ただし、R5及びR6は互いに異なる基である。x及びyはそれぞれ独立に0〜40の整数を示す。]【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I)で表される構造単位及び下記一般式(II)で表される構造単位を有するバインダーポリマー、 (B)光重合性化合物、並びに (C)光重合開始剤 を含有し、前記(B)成分が下記一般式(III)で表される不飽和基を1分子中に少なくとも1つ有する化合物を含む感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/004 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F 265/06
FI (7件)：
G03F7/027 502 ,  G03F7/033 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004 512 ,  C08F2/44 C ,  C08F2/50 ,  C08F265/06
Fターム (56件)：
2H125AC21 ,  2H125AC34 ,  2H125AC37 ,  2H125AC63 ,  2H125AC72 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN10P ,  2H125AN12P ,  2H125AN23P ,  2H125AN38P ,  2H125AN47P ,  2H125AN51P ,  2H125AN65P ,  2H125AN66P ,  2H125AN87P ,  2H125BA02P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA21 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA14 ,  4J011QA15 ,  4J011QB24 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA45 ,  4J026BA27 ,  4J026BA50 ,  4J026GA06 ,  5B068BB08 ,  5B068BC13 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CE11 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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