特許
J-GLOBAL ID:200903090781815254
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-323730
公開番号(公開出願番号):特開2009-042720
出願日: 2007年12月14日
公開日(公表日): 2009年02月26日
要約:
【課題】十分に高い感度及び解像度でレジストパターンを形成できると共に、形成されたレジストパターンの剥離特性に十分に優れる感光性樹脂組成物。【解決手段】(A)(1)(メタ)アクリル酸,(2)スチレン誘導体および(3)(メタ)アクリル酸フェノキシアルキルエステル誘導体構造単位を有するバインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)下記一般式(I)、(II)及び(III)で表される2価の基を有するバインダーポリマー、
(B)光重合性化合物、及び
(C)光重合開始剤
を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/028
, H05K 3/06
, H05K 3/18
, C08F 212/08
FI (7件):
G03F7/033
, G03F7/004 512
, G03F7/028
, G03F7/004 503Z
, H05K3/06 J
, H05K3/18 D
, C08F212/08
Fターム (52件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA16
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CA41
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025FA39
, 4J100AB07P
, 4J100AJ02Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA02P
, 4J100BA02R
, 4J100BA03P
, 4J100BA03R
, 4J100BA04P
, 4J100BA04R
, 4J100BA08R
, 4J100BB00P
, 4J100BB00R
, 4J100BC02P
, 4J100BC02R
, 4J100BC43P
, 4J100BC43R
, 4J100CA05
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100DA29
, 4J100JA37
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CE11
, 5E339CF01
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339DD04
, 5E343CC63
, 5E343DD32
, 5E343ER16
, 5E343ER18
, 5E343GG08
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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