特許
J-GLOBAL ID：201503019840120259
ピクセルビア(PIXELVIA)およびそれを形成する方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (12件)：
蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 野河 信久
, 峰 隆司
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 赤穂 隆雄
, 井上 正
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503703
特許番号：特許第5792373号
出願日： 2012年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ピクセルのアレイを備えるデバイスであって、各ピクセルが、
基板と、
前記基板上に配設され、前記ピクセルの4つのコーナーの各々において、および前記ピクセルの少なくとも1つのエッジ領域に沿って、前記ピクセルの光学不活性部分を遮蔽する、電気伝導性ブラックマスクと、
前記ブラックマスクの上に配設された誘電体層と、
前記誘電体層の上に配設された光学スタックであり、静止電極を含む光学スタックと、
前記光学スタックの上に配置され、機械層と前記光学スタックとの間のキャビティを画定する機械層であり、作動位置と緩和位置との間で前記キャビティを通して可動であり、前記ピクセルの各コーナーにおいて前記光学スタックの上にアンカーされる、機械層とを有し、
前記ピクセルのアレイが、前記静止電極を前記ブラックマスクに電気的に接続する、前記誘電体層中の伝導性ビアを有する第1のピクセルを含み、前記伝導性ビアが、前記第1のピクセルの光学不活性エリアにおける前記第1のピクセルのエッジに沿った位置に配設され、前記伝導性ビアの前記位置が、前記第1のピクセルの中心に向かう方向に前記第1のピクセルの前記エッジからオフセットされて離間する、デバイス。
IPC (6件)：
G02B 26/02 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, B81B 7/04 ( 200 6.01)
, B81C 1/00 ( 200 6.01)
, G09F 9/30 ( 200 6.01)
, G09F 9/37 ( 200 6.01)
G02B 26/02 E
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, B81C 1/00
, G09F 9/30 338
, G09F 9/37
, G09F 9/30 349 C
