特許
J-GLOBAL ID：201503019992139000

切削ブレード先端形状検出方法

発明者：
岩田 秀夫

岩田 秀夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-148351
公開番号（公開出願番号）：特開2015-020226
出願日： 2013年07月17日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：
【課題】容易かつ正確にブレード先端形状を検出しうる切削ブレード先端形状検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】切削ブレード先端形状検出方法は、ウェーハWの厚み方向に切り残し部20が形成されるように所定幅を有する切削ブレード3でウェーハWを切削して切削ブレード3の幅に対応する幅Lを有する切削痕30を形成する切削痕形成ステップと、切削痕30の幅方向に伸長する帯状レーザービーム15を切削痕30に照射し、切削痕30の底部31で反射した反射光16をもとに底部31の凹凸を検出する凹凸検出ステップとを備え、凹凸検出ステップで検出された切削痕30の底部31の凹凸形状を切削ブレード3の先端形状とすることができる。これにより、容易かつ正確に切削ブレード3の先端形状を検出することが可能となる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、 被加工物の厚み方向に切り残し部が形成されるように所定幅を有する切削ブレードで被加工物を切削して該切削ブレードの幅に対応する幅を有する切削痕を形成する切削痕形成ステップと、 該切削痕の幅方向に伸長する帯状レーザービームを該切削痕に照射し、該切削痕の底で反射した反射光をもとに該底の凹凸を検出する凹凸検出ステップと、を備え、 該凹凸検出ステップで検出された該切削痕の該底の凹凸を該切削ブレードの先端形状とする切削ブレード先端形状検出方法。
IPC (3件)：
B24B 49/12 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
B24B49/12 ,  B24B27/06 M ,  H01L21/78 F
Fターム (24件)：
3C034AA19 ,  3C034BB89 ,  3C034BB93 ,  3C034CA09 ,  3C034CA22 ,  3C034CB13 ,  3C034DD05 ,  3C034DD18 ,  3C058AA03 ,  3C058AC02 ,  3C058BA09 ,  3C058BC03 ,  3C058DA17 ,  3C158AA03 ,  3C158AC02 ,  3C158BA09 ,  3C158BC03 ,  3C158DA17 ,  5F063AA04 ,  5F063AA22 ,  5F063AA41 ,  5F063DD20 ,  5F063DE23 ,  5F063DE35
引用特許：
審査官引用 (7件)
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