特許
J-GLOBAL ID：201503020142066852

弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法

発明者：
丹野 雅行

丹野 雅行 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107915
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236277
特許番号：特許第5792115号
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法であって、 引き上げ法により、Fe,Ni,Coの少なくとも1つ以上の元素を含まないか0.5mol%以下含む一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶を得て、該一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶の表面の粗さ指標Rmaxを1μm以上とし、該一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶を複数積層して積層体を形成し、該積層体を気相平衡法により化学量論組成に改質することで前記弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造することを特徴とする弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法。
IPC (5件)：
H03H 9/25 ( 200 6.01) ,  H03H 3/08 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/18 ( 200 6.01) ,  H01L 41/39 ( 201 3.01)
FI (6件)：
H03H 9/25 C ,  H03H 9/25 A ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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