微小熱伝導率測定装置及び測定方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-172783
公開番号（公開出願番号）：特開2015-040801
出願日： 2013年08月23日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：

【課題】ナノ・ミクロスケールの微小領域の熱伝導率を測定する。【解決手段】一端をエポキシ樹脂などの高熱抵抗材料で熱的に遮蔽した試料を収束した電子線で照射して熱を印加し、それによる熱流により熱遮蔽の反対側端部に生じた温度上昇を微小な熱電対で測定する。このような電子線照射を複数の照射点に対して行い、これらの照射点位置及び対応する温度上昇から、照射点間あるいは照射点から熱電対の接触点までの熱伝導率が求められる。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

試料に接触する熱電対と、前記試料上の複数の加熱点を順次加熱する加熱装置と、前記順次加熱による前記接触点の温度上昇に応答した前記熱電対の複数の出力を検出して前記複数の加熱点の加熱にそれぞれ対応する複数の温度上昇を測定する装置とを設け、前記複数の加熱点間または前記複数の加熱点から前記試料上の前記熱電対の接触点までの距離及び前記複数の加熱点に対応する前記複数の温度上昇に基づいて前記複数の加熱点の間または前記複数の加熱点と前記接触点の間の熱伝導率または前記熱伝導率間の比率を求める微小熱伝導率測定装置。

IPC (3件)：

G01N 25/18 , H01J 37/20 , G01N 23/225

FI (3件)：

G01N25/18 E , H01J37/20 E , G01N23/225

Fターム (15件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001HA13 , 2G001KA20 , 2G040AB09 , 2G040CA02 , 2G040CA13 , 2G040CA22 , 2G040DA03 , 2G040DA15 , 5C001BB01 , 5C001BB07 , 5C001CC03 , 5C001CC04

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