基板をコーティングするための方法とコーター

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：園田吉隆 , 小林義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-514354
公開番号（公開出願番号）：特表2015-524022
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2015年08月20日
要約：

少なくとも2個の回転カソードを含むカソード配列を用いて基板をコーティングするための方法が、開示される。前記方法は、少なくとも二つの回転カソードのうち少なくとも一つを第一の方向に回転させ、且つ、同時に、少なくとも二つの回転カソードのうち少なくとも一つを第二の方向に回転させることを含む。第一の方向は、第二の方向と逆である。更に、コーティングプロセスを制御するためのコントローラが開示される。更に、基板をコーティングするためのコーターが開示される。コーターは、本明細書で開示されるように、少なくとも2個の回転カソードを有するカソード配列、及び、1個のコントローラを含む。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

少なくとも2個の回転カソードを含むカソード配列を用いて基板をコーティングする方法であって、 a)前記少なくとも2個の回転カソードのうち少なくとも1個を第一の方向に回転させること、及び b)同時に、前記少なくとも2個の回転カソードのうち少なくとも1個を第二の方向に回転させること、を含み、前記第一の方向は、前記第二の方向と逆である、方法。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , H01L 21/285

FI (2件)：

C23C14/34 C , H01L21/285 S

Fターム (22件)：

4K029AA24 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC05 , 4K029DC13 , 4K029DC16 , 4K029DC25 , 4K029DC28 , 4K029DC39 , 4K029DC45 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB36 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104GG05 , 4M104GG09

引用特許：

審査官引用 (9件)

スパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-189471 出願人：株式会社神戸製鋼所
回転可能なマグネトロンの大面積アセンブリを有するコーター
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-087024 出願人：アプライドマテリアルズゲーエムベーハーウントツェーオーカーゲー
スパッタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-383004 出願人：シャープ株式会社

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