特許
J-GLOBAL ID:201503020713458265

X線検査用加熱装置及び面状ヒーター

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-247889
公開番号(公開出願番号):特開2014-095640
特許番号:特許第5818106号
出願日: 2012年11月09日
公開日(公表日): 2014年05月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 試料加熱室に収容された試料の少なくとも一方の面を対流により加熱して、X線により検査するためのX線検査用加熱装置であって、 通風孔又はスリットが多数形成された、X線を透過可能な面状ヒーターと、 該面状ヒーターの前記試料と反対側の空間にガスを送り込むためのガス供給手段と、 前記試料加熱室を外気と遮断するX線透過窓と、 を備え、 前記面状ヒーターが、薄い金属板と、該金属板を両側から挟んで補強するための、X線を透過する材料で形成された絶縁板とで形成され、 前記金属板が、前記試料と反対側の絶縁板に埋め込まれ、 前記絶縁板に通風孔又はスリットが多数形成され、 前記試料側の絶縁板の通風孔又はスリットが、該絶縁板の表面に対して斜めに形成され、 前記金属板が埋め込まれた試料と反対側の絶縁板の通風孔又はスリットが、該絶縁板の表面に対して垂直に形成されていることを特徴とするX線検査用加熱装置。
IPC (2件):
G01N 23/04 ( 200 6.01) ,  H05B 3/20 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01N 23/04 ,  H05B 3/20 301 ,  H05B 3/20 326 B ,  H05B 3/20 328
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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