特許

J-GLOBAL ID：201503020949614933

材料機械強度測定方法

発明者： 持地 広造 ,  乾 徳夫 ,  盛谷 浩右
出願人/特許権者： 公立大学法人兵庫県立大学
代理人 (1件)： 特許業務法人 有古特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-183207
公開番号（公開出願番号）：特開2015-049222
出願日： 2013年09月04日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：

【課題】マイクロメータースケール或いはナノメータスケールといった材料の微小領域における機械強度測定方法を提供する。【解決手段】分析装置100は、Arガスクラスターイオン30を生成するイオン源と、Arガスクラスターイオン30を照射する試料15と、試料15にArガスクラスターイオン30を照射することで発生する解離イオン30fを分析する質量分析器5とを備える。試料15にイオン30を照射することで発生する反射イオン30fを分析することによって試料15の機械強度を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料にイオンを照射することで発生する反射イオンを分析することによって前記試料の機械強度を測定する、材料機械強度測定方法。

IPC (1件)：

G01N 27/62

FI (2件)：

G01N27/62 G ,  G01N27/62 V

Fターム (8件)：

2G041AA10 ,  2G041CA01 ,  2G041CA10 ,  2G041DA16 ,  2G041FA04 ,  2G041GA22 ,  2G041GA25 ,  2G041GA29