特許
J-GLOBAL ID：201503021423226685

アッシング装置

発明者：
広瀬 賢一

広瀬 賢一 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-121816
公開番号（公開出願番号）：特開2014-239181
特許番号：特許第5783472号
出願日： 2013年06月10日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被処理物を内部に配置する処理室と、 前記被処理物に紫外線を照射する紫外線ランプを備えたランプ室を備えたアッシング装置において、 前記処理室と前記ランプ室は、前記被処理物の被処理面に対して相対的に平行移動されるものであり、 前記処理室は、被処理物を支持するステージと、当該ステージに設けられて、前記処理室内に前記被処理物の被処理面と直交する方向から処理ガスを供給する給気口と、前記処理室内から前記被処理物の被処理面と直交する方向から処理ガスを排出する排気口とを具備し、 前記処理室と前記ランプ室とを区画する紫外線透過性を有する窓部材が、当該処理室に固定されており、 前記処理ガスを給気口から排気口に向かって流しながら、前記紫外線ランプが点灯した状態で、前記処理室と前記ランプ室が、前記処理室内の前記処理ガスの流れに沿って相対的に移動される ことを特徴とするアッシング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/302 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H05K 3/42 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/302 201 A ,  H01L 21/302 104 H ,  H01L 21/304 645 D ,  H05K 3/42 610 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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