プラズマ窒化装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 高橋俊一 , 伊藤正和 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-260995
公開番号（公開出願番号）：特開2015-117405
出願日： 2013年12月18日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

【課題】窒化表面処理時の製造コストを抑制することが可能なプラズマ窒化装置を提供する。【解決手段】プラズマ窒化装置は、表面処理領域2を含む被処理体1の一部を収容する処理槽11を含み、処理槽11の内部で処理ガス30のプラズマによる表面処理領域2の窒化処理を行う表面処理部10と、処理ガス30が供給され、被処理体1と処理槽11とを、被処理体1の前記一部以外の部位が処理槽11から露出した状態で収容する外部容器20とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面処理領域を含む被処理体の一部を収容する処理槽を含み、前記処理槽の内部で処理ガスのプラズマによる前記表面処理領域の窒化処理を行う表面処理部と、前記処理ガスが供給され、前記被処理体と前記処理槽とを、前記被処理体の前記一部以外の部位が前記処理槽から露出した状態で収容する外部容器とを備えることを特徴とするプラズマ窒化装置。

IPC (1件)：

C23C 8/36

FI (1件)：

C23C8/36

Fターム (2件)：

4K028BA02 , 4K028BA21

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭47-006956
特開昭55-014884
特開昭52-146734

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審査官引用 (5件)

特開平2-213460
金属帯の連続プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-295135 出願人：川崎製鉄株式会社
特公昭35-017303

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