特許
J-GLOBAL ID：201503021730219610

基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体

発明者：
小沢 誠司

小沢 誠司 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-177714
公開番号（公開出願番号）：特開2014-036175
特許番号：特許第5689096号
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 駆動部により鉛直及び水平方向に移動自在に駆動し、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送装置であって、 上記基板の周囲を囲むように設けられている保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、上記内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、上記基板を吸着保持するための吸着孔を有する複数の保持部を有する搬送アームと、 前記吸着孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサと、 上記搬送アームの位置を上記駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知手段と、 上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第1の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断手段と、 上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第2の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第2の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第3の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第3の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断手段と、 上記停止判断手段又は上記吸着判断手段で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信手段と、 上記吸着判断手段で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信手段と、を備え、 上記駆動部の原点復帰は、上記一の処理モジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールに上記保持部を移動して行うことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM